平面S型与平面W型MEMS弹簧性能比较研究

作     者：何光 石庚辰 HE Guang;SHI Geng-chen

作者机构：北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室北京100081 

基　　金：中国人民解放军总装备部武器装备预研基金项目资助(51405040205BQ0101) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第2期

页      码：288-291页

摘      要：S型与W型是平面MEMS弹簧中两种典型的结构形式,各自结构特点导致了它们具有不同的力学性能。通过理论分析、仿真计算和实验验证方法对平面镍质S型与平面W型MEMS弹簧性能进行了比较研究,得出了在同样的外廓尺寸及相同的线宽、厚度和梁间距情况下,平面S型微弹簧的刚度大于平面W型微弹簧的刚度的结论,为MEMS弹簧的进一步优化设计提供理论参考。

主 题 词：微机电系统 平面弹簧 刚度系数 有限元方法 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.026

馆 藏 号：203478703...