多驱动电极垂直限幅振动式微型电场传感器

作     者：龚超 邓凯 陶虎 白强 陈绍凤 夏善红 GONG Chao;DENG Kai;TAO Hu;BAI Qiang;CHEN Shao-feng;XIA Shan-hong

作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金(60172001)资助项目 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2005年第28卷第1期

页      码：51-55页

摘      要：设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于 MEMS技术制作的微型电场传感器。该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状,在使用时可以将其中的两个用作驱动,另外两个作为振动检测电极,监控振动情况。传感器的支撑结构可以限制振动幅度,使传感器在脉冲信号驱动下也能稳定工作。因此该电场传感器除了具备其它微型电场传感器的优点以外,还可以根据应用场合的需要选择不同的驱动模式。从而可以根据具体应用的要求,使用较简单的测试系统减轻重量,或使用较复杂的测试系统提高测试的精度和稳定性。本文介绍了此种传感器的结构,工作原理以及三种不同的驱动模式的实现方法,并讨论了不同模式的应用场合。

主 题 词：电场传感器 微机电系统 驱动模式 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2005.01.013

馆 藏 号：203478954...