微电子机械系统尺寸效应的泛函分析

作     者：韩光平 刘凯 褚金奎 

作者机构：西安理工大学陕西西安710048 郑州航空工业管理学院河南郑州450052 

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (50 1 350 4 0 ) 

出 版 物：《机械设计》 (Journal of Machine Design)

年 卷 期：2004年第21卷第2期

页      码：17-19页

摘      要：尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面 ,在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上 ,提出从纯尺寸因素和非尺寸因素综合考虑尺寸效应 ,建立了一个尺寸效应的基本数学模型 ,并从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面对该数学模型进行泛函分析 。

主 题 词：微电子机械系统 尺寸效应 泛函分析 灵敏度 微器件 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-2354.2004.02.006

馆 藏 号：203479697...