扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究

作     者：王凌云 刘益芳 孙道恒 WANG Ling-yun;LIU Yi-fang;SUN Dao-heng

作者机构：厦门大学机电工程系福建厦门361005 

基　　金：国家自然科学基金(50275127) 福建省自然科学基金(A0110003) 福建省科技计划重点项目(2002H022)资助 

出 版 物：《厦门大学学报（自然科学版）》 (Journal of Xiamen University：Natural Science)

年 卷 期：2006年第45卷第3期

页      码：355-359页

摘      要：设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨,揭示了静电驱动频率的选择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系,为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础.

主 题 词：微机械陀螺仪 梳齿驱动电极 隧道传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0438-0479.2006.03.014

馆 藏 号：203480846...