基于免形状测量模式的复杂形状测量机设计

作     者：石照耀 张斌 林家春 Shi Zhaoyao;Zhang Bin;Lin Jiachun

作者机构：北京工业大学机械工程与应用电子技术学院北京100124 

基　　金：国家"高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项(2010ZX04014-091) 国家自然科学基金科学仪器专项(50627501) 北京市教委创新人才项目(PHR201006104)资助 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2012年第33卷第6期

页      码：1377-1384页

摘      要：为了高精度高效率地测量数学模型未知的复杂几何形状,介绍了"免形状测量模式",分析了该测量模式对仪器的基本要求,基于该模式设计了一台移动工作台式测量机。测量机以直线电机为驱动元件,以高精度长光栅为测量元件。为减小被测件重量对测量机的影响,设计了封闭式真空负压的空气静压气浮导轨和共平面的H形二维结构。设计了具有制动功能的Z轴和气浮隔振等关键部件。仪器量程为300 mm×300 mm×300 mm,测量不确定度为1.8μm,能测量数学模型未知的复杂几何形状。

主 题 词：免形状测量 气浮导轨 共平面结构 直线电机 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0703[理学-化学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0254-3087.2012.06.026

馆 藏 号：203481155...