PZT厚膜压电悬臂梁结构的有限元分析

作     者：方华斌 徐峥谊 刘景全 陈迪 蔡炳初 Fang Huabin;Xu Zhengyi;Liu Jingquan;Chen Di;Cai Bingchu

作者机构：上海交通大学微细加工国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 Honeywell公司上海传感器实验室上海200030 上海交通大学微细加工国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海交通大学微细加工国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海交通大学微细加工国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：257-260页

摘      要：设计了一种硅微悬臂梁结构,在低频环境中以压电厚膜进行信号转换、谐振.使用有限元分析软件ANSYS对结构建模,并进行模态和谐响应分析.模拟分析的结果表明:通过制备添加金属质量块及选择合理的尺寸范围,结构固有频率可在100～1500Hz之间;该结构在共振条件下将运动信号转换为电压信号输出时,电压可达0.4V以上,足以开启双锗二极管进行电路整流.

主 题 词：压电悬臂梁 低频 谐振 有限元分析 电压输出 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.090

馆 藏 号：203484820...