嵌入式薄膜微传感器的ANSYS分析与应用

作     者：成云平 武文革 杜晓军 李琦 李学瑞 CHENG Yunping;WU Wenge;DU Xiaojun;LI Qi;LI Xuerui

作者机构：中北大学机械与动力工程学院山西太原030051 

基　　金：山西省回国留学人员科研资助项目(2013-086) 

出 版 物：《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)

年 卷 期：2014年第6期

页      码：134-138页

摘      要：设计了一种嵌入式薄膜微传感器,由多层薄膜材料构成,在应变与压阻原理和材料力学理论的基础上,采用简化的等效悬臂梁结构建立了数学分析模型,将有限元分析方法应用于传感器的结构分析中,并应用ANSYS12.0对薄膜微传感器结构的线性度以及应变与应力进行了模拟,同时分析了传感器结构的几何参数对输出电压的影响,从理论和有限元分析方面验证了薄膜微传感器的可行性,为薄膜微传感器的进一步制作和应用奠定了基础。

主 题 词：压阻分析 薄膜微传感器 切削力 有限元法 

学科分类：08[工学] 080202[080202] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-2402.2014.06.043

馆 藏 号：203485087...