扩散泵返油率在泵口平面的分布

作     者：龚建华 董兰生 

作者机构：合肥工业大学 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：1995年第32卷第2期

页      码：5-8页

摘      要：扩散泵的返油限制了它的使用范围。用挡油障板阻挡油分子的同时，又将减小泵的抽速，这是一个矛盾。本文给出一种测量扩散泵返油率在泵口平面分布的方法。对返油率高的部分加以有效的阻挡，而低的部分留作抽气通导，这对设计低返油、大通导的挡油障板无疑是一种启迪。

主 题 词：返油率 石英晶体 挡油障板 扩散泵 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.1995.02.002

馆 藏 号：203485779...