基于微机电系统光栅平动式光调制器实验和优化设计

作     者：张洁 黄尚廉 张智海 孙吉勇 史玲娜 朱永 Zhang Jie;Huang Shanglian;Zhang Zhihai;Shun Jiyong;Shi Lingna;Zhu Yong

作者机构：重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室重庆400030 

基　　金：重庆市院士基金(8883) 国家自然科学基金(60578023)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2007年第27卷第9期

页      码：1565-1569页

摘      要：基于微机电系统(MEMS)的光栅平动式光调制器(光栅平动式光调制器)调制性能的实验研究关系到其进一步应用。设计了光栅平动式光调制器的相干光学信息处理系统实验方案,He-Ne激光器出射的光束经扩束器和准直透射后成为平行光入射光栅平动式光调制器,被测光栅平动式光调制器放置在相干光学信息处理系统的输入面,滤波器在频谱面上,显微镜放大像面上的信号,经CCD在计算机上记录存储;实验结果和理论分析吻合。对光栅平动式光调制器进行方案优化,将可动光栅边框和悬臂梁表面处理成不反光,使可动光栅和下反射镜构成的整个反射面为光栅周期的整数倍。经理论计算,在光栅周期为8μm,光栅占空比为0.5,光栅边距为2μm,周期数为6的条件下,光栅平动式光调制器图像填充率为74.67%,光学效率为81.06%,衬比度大于5000∶1。

主 题 词：信息光学 光栅 相干光学信息处理 光调制器 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-2239.2007.09.006

馆 藏 号：203486394...