用于显示的透射型法布里-珀罗光调制器

作     者：孙吉勇 黄尚廉 张洁 张智海 史玲娜 Sun Jiyong;Huang Shanglian;Zhang Jie;Zhang Zhihai;Shi Lingna

作者机构：重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 

基　　金：国家自然科学基金(60578023) 重庆市院士基金(8883)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2007年第27卷第12期

页      码：2240-2244页

摘      要：提出了一种用于显示的,基于透射型法布里-珀罗干涉的微机电系统(MEMS)光学调制器。基于多光束干涉原理分析了调制器的光学特性,推导出了调制器结构的特征参量。分析表明,当调制器的腔长为cλ/4时,透射光可以实现暗态显示;当调制器的腔长取为零或cλ/2时,透射光可以实现亮态显示。通过控制法布里-珀罗腔长,就可实现调制器的明暗调制。理论上证明了该调制器用于显示的可行性。设计了一种基于微机电系统的透射型法布里-珀罗光学调制器结构,该调制器的理论衬比度达到150。仿真结果表明,该调制器具有2.4 V的低电压静电驱动性能。

主 题 词：微机电系统 法布里-珀罗光调制器 干涉 显示 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-2239.2007.12.026

馆 藏 号：203486469...