基于激光剪切干涉的长导轨直线度测量系统设计

作     者：王文丹 赵美蓉 付鲁华 刘启海 林玉池 WANG Wen-dan;ZHAO Mei-rong;FU Lu-hua;LIU Qi-hai;LIN Yu-chi

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60874106) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2009年第28卷第12期

页      码：77-79页

摘      要：针对长导轨直线度传统测量方法中存在的问题,研制了一种基于激光楔形平板剪切干涉测量的便携式激光干涉准直系统。根据剪切干涉测量原理,设计了光学元件的关键参数。在ARM9硬件开发平台下使用嵌入式操作系统WINCE 5.0,通过Embedded C++实现了导轨直线度误差值等的相关算法。系统实时计算相邻信号之间的相位差,简化了激光光束准直度调校测量设备的装调工作;根据信号幅值大小控制信号增益,实现精确检测大尺寸导轨直线度误差的功能。整个系统测量精度高,集成度高,便携性强,可应用于各种工业环境与室外测量。

主 题 词：激光准直 剪切干涉 楔形平板 直线度误差 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2009.12.025

馆 藏 号：203487288...