基于静电力的微液滴驱动芯片

作     者：刘翔 高安然 李铁 周萍 王跃林 LIU Xiang;GAO An-ran;LI Tie;ZHOU Ping;WANG Yue-lin

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100049 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973)资助项目(2006CB300403) 国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2007AA03Z308) 国家自然基金委创新团队资助项目(60721004) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2011年第30卷第2期

页      码：116-118,121页

摘      要：为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片。介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列,高质量Si3N4作介质层,碳氟聚合物为疏水层。实验表明:微液滴可在芯片上按程序设定方式在二维平面内流畅运动,最小驱动电压为15V,最大运动速度达96mm/s。芯片制作工艺简单,操作方便,可应用于生化分析芯片实验室系统。

主 题 词：微流控 液滴 静电驱动 共平面电极 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2011.02.037

馆 藏 号：203487724...