用于真空在线测量的离轴非球面结构反射差分光谱仪设计与实现

作     者：徐臻圆 傅星 张一帆 谢鹏飞 胡春光 胡小唐 

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 密歇根大学机械工程系安娜堡48109 

基　　金：国家自然科学基金(61008028) 全国博士学位论文作者专项资金(201140) 天津市应用基础及前沿技术研究计划JCJBJC25700)资助项目 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2013年第24卷第10期

页      码：1960-1966页

摘      要：基于旋转补偿器的反射差分光谱（RC—RDS）技术是具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法，其全光谱快速测量性能，特别适合在线检测。为满足真空在线测量的应用需求，综合考虑使用空间、工作距离、光束直径、光谱宽度和通光率等限制因素，提出了基于离轴抛物（OAP）反射镜的光学测头设计方案，构建的测试样机实现了有效工作距离大于50cm、光斑直径小于6．5mm和光谱范围涵盖280～825nm等性能。实验研究了超高真空环境Cu（110）样品在退火处理中的RDS，仪器详细记录了信号随温度的演变过程，测量精度优于3×10-4，表明新方案满足真空环境下表面高灵敏光学测试的需求。

主 题 词：反射差分光谱(RDS)技术 表面光学表征 真空在线测量 离轴抛物(OAP)反射镜 

学科分类：07[理学] 08[工学] 070302[070302] 0703[理学-化学类] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.16136/j.joel.2013.10.011

馆 藏 号：203489037...