基于DSP-FPGA高速控制系统的应用研究

作     者：邓卫梅 陈代谢 殷伯华 薛虹 韩立 Deng Weimei;Chen Daixie;Yin Bohua;Xue Hong;Han Li;Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Science,Micro and Nano Fabrication Laboratory;University of Chinese Academy of Sciences

作者机构：中国科学院电工研究所微纳加工研究部北京100190 中国科学院大学北京100049 

基　　金：基金资助:国家863计划,工业型扫描探针显微测试系统及关键技术(2012AA041204) 国家科技支撑计划,微纳技术计量标准和标准物质研究,2011BAK15800 

出 版 物：《现代科学仪器》 (Modern Scientific Instruments)

年 卷 期：2014年第31卷第1期

页      码：30-34页

摘      要：为了满足应用对控制系统高速高精度的要求，本文将原子力显微镜作为控制对象，主要研究基于DSP—FPGA控制系统设计中的关键技术问题。包括各模块的功能划分、模块间通讯模式设计并以单行扫描为例进行编程说明。随后将PID算法嵌入FPGA，对大范围快速原子力显微镜的单点测试做闭环反馈控制。实验结果显示，与以PCI04为核心的控制系统相比，基于DSP—FPGA的控制系统大大提高了大范围快速原子力显微镜的扫描速度和控制精度。

主 题 词：SEED--HPS6455 DSP-FPGA 大范围快速AFM 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

馆 藏 号：203489231...