基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法

作     者：闻小龙 彭春荣 方东明 杨鹏飞 陈博 夏善红 Wen Xiao-long;Peng Chun-rong;Fang Dong-ming;Yang Peng-fei;Chen Bo;Xia Shan-hong

作者机构：中国科学院电子学研究所北京100190 中国科学院大学北京100049 北京大学微电子学研究院北京100871 

基　　金：国家863计划项目(2011AA040405) 国家自然科学基金(61101049 61201078 61302032 61327810)资助课题 

出 版 物：《电子与信息学报》 (Journal of Electronics & Information Technology)

年 卷 期：2014年第36卷第10期

页      码：2504-2508页

摘      要：为了准确测量空间3维电场,解决作用于电场传感器的电场各分量之间的耦合干扰问题,该文提出一种新型的基于共面去耦结构的空间3维电场探测方法。区别于在空间的X,Y,Z 3个方向上进行3维布置传统测量思路,该文提出采用3个不共线的平面分布电场敏感单元,利用电场耦合灵敏度矩阵实现电场3个正交分量的准确解调。采用3个基于微机电系统(MEMS)技术的振动微结构电场敏感单元成功制作出3维电场传感器样机。该文设计出一种可实现任意角度旋转的新的传感器夹具,并构建了3维电场测试标定系统。实验表明,该文研制的3维电场传感器可实现电场3个分量的准确测量,结构简单,消除了3个电场分量之间的耦合干扰,提高了测量精度。

主 题 词：MEMS电场传感器 3维电场 耦合干扰 3维标定 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080802[080802] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3724/sp.j.1146.2013.01921

馆 藏 号：203489630...