基于SEMI~F57-0301标准下,新一代化学品输送过程中,阀门管接件及其材料的选择、设计、生产和测试

作     者：James M.Hanson RonnieA.Browne 

作者机构：Swagelok CompanySwagelok Company 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2005年第30卷第8期

页      码：45-49页

摘      要：本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的选择、设计、生产和测试的问题。针对半导体工业发展的需求,以SEMIF57-0301为标准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述。所阐述方法和理论同样适用于流量计,过滤器,调节阀等组件。

主 题 词：SEMI 输送过程 阀门 标准 设计 测试 化学品 管接件 一代 材料 高纯水系统 半导体行业 含氟聚合物 分配系统 工业发展 流量计 过滤器 调节阀 应用 需求 

学科分类：100405[100405] 0202[经济学-财政学类] 02[经济学] 1004[医学-公共卫生预防医学类] 020205[020205] 10[医学] 

D　O　I：10.13290/j.cnki.bdtjs.2005.08.013

馆 藏 号：203494042...