高精度长线列密排光纤阵列的制作研究

作     者：侯凤杰 梁静秋 郭鹏 孔庆峰 李佳 HOU Feng-jie;LIANG Jing-qiu;GUO Peng;KONG Qing-feng;LI Jia

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60578036) 中国科学院"优秀博士学位论文 院长奖获得者科研启动专项资金"资助项目 应用光学国家重点实验室开放基金资助项目 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2007年第1期

页      码：15-18页

摘      要：本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固化胶和红外粘接剂进行实验对比,结果表明,Norland紫外固化胶和353ND红外粘接剂为最佳选择。用各向异性湿法腐蚀技术制作了硅V型槽,进行了光纤排列、定位及端面处理,制作出了高精度线性光纤阵列。对端面面型误差和表面粗糙度的测试后,结果表明光纤阵列端面纵向位置误差≤324 nm,表面粗糙度均方根值小于3.85nm。

主 题 词：线性光纤阵列 硅V型槽 误差分析 粘接剂 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

馆 藏 号：203500296...