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高级次反射膜空间解复用器件的设计

高级次反射膜空间解复用器件的设计

作     者:金波 陈海星 章岳光 顾培夫 刘旭 JIN Bo;CHEN Hai-xing;ZHANG Yue-guang;GU Pei-fu;LIU Xu

作者机构:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 

基  金:国家自然科学基金资助项目(60078001) 

出 版 物:《浙江大学学报(工学版)》 (Journal of Zhejiang University:Engineering Science)

年 卷 期:2005年第39卷第4期

页      码:475-477,486页

摘      要:为了降低多周期高反射膜空间解复用器的制备工艺难度,根据“超棱镜”效应的多层薄膜空间解复用器的设计方法,提出了一种制备工艺简单的多层薄膜结构.通过增加周期中单层膜的级次来减少整个高反射膜系的周期数.所设计的高级次反射膜结构为10(9H9L)9H,对设计的膜系进行了数值模拟计算,并和相同总物理厚度的一级次高反射膜系进行了比较.计算结果表明,该设计方法明显降低了对制备工艺的要求,并具有大的空间色散和实际制备意义.

主 题 词:薄膜 解复用器 高反射膜 空间色散 

学科分类:070207[070207] 07[理学] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录:

D O I:10.3785/j.issn.1008-973X.2005.04.004

馆 藏 号:203501068...

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