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大面积CdTe多晶薄膜的制备及其性能

大面积CdTe多晶薄膜的制备及其性能

作     者:蒋显辉 郑家贵 黎兵 夏庚培 武莉莉 冯良桓 蔡伟 张静全 李卫 雷智 JIANG Xian-hui;ZHENG Jia-gui;LI Bing;XIA Geng-pei;WU Li-li;FENG Liang-huan;CAI Wei;ZHANG Jing-quan;LI Wei;LEI Zhi

作者机构:四川大学材料科学与工程学院成都610064 

基  金:国家高技术研究发展计划项目(No.2003AA513010) 教育部博士点基金(No.20050610024) 

出 版 物:《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)

年 卷 期:2007年第13卷第1期

页      码:68-72页

摘      要:通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程,并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场,在混合氩氧气氛下,用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300mm×400mm的大面积CdTe多晶薄膜,利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜呈(111)择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1μm左右。用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的CdS/CdTe/ZnTe:Cu小面积太阳电池效率相差不大,说明薄膜的均匀性较好。

主 题 词:CdTe薄膜 近空间升华法 大面积 

学科分类:080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 

D O I:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.01.014

馆 藏 号:203501625...

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