VLSI成品率预测与仿真

作     者：郝跃 林锐 马佩军 Hao Yue;Lin Rui;Ma Peijun

作者机构：西安电子科技大学微电子所 浙江大学CAD&GC实验室 

基　　金：国家科技攻关96738项目资助 

出 版 物：《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期：1999年第27卷第2期

页      码：55-58页

摘      要：本文建立ＩＣ光刻工艺相关缺陷计算模型和基于ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ统计成品率计算模型．阐述了集成电路功能成品率仿真系统ＸＤＹＥＳ实现，讨论了应用ＸＤＹＥＳ实现功能成品率设计，并给出该系统实用性验证．研究分析表明，其结果与实际结果符合很好．

主 题 词：功能成品率 预测 仿真 VLSI 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0372-2112.1999.02.016

馆 藏 号：203502858...