热超声键合中温度对换能系统驱动的研究

作     者：张亚楠 韩雷 王彦芳 ZHANG Ya-nan;HAN Lei;WANG Yan-fang

作者机构：中南大学现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室长沙410083 石家庄铁道学院石家庄050043 

基　　金：国家973重点基础研究发展计划基金项目(2009CB724203) 

出 版 物：《现代制造工程》 (Modern Manufacturing Engineering)

年 卷 期：2010年第8期

页      码：27-30页

摘      要：在热超声引线键合过程中,超声功率设置和键合温度是影响键合质量和换能系统行为的重要因素。通过实验采集不同超声功率设置和不同键合温度下键合过程中换能系统两端的驱动电流和电压信号。计算得到换能系统两端实际加载功率。分析不同功率设置下键合温度对换能系统驱动的影响规律。解释功率设置和温度导致系统驱动改变的可能原因。结果表明:不同的功率设置下,温度对换能系统驱动影响存在不同规律。较小功率设置下,温度对驱动影响较大。功率设置越大,温度对驱动影响逐步变小。这些实验数据和结果有助于进一步研究键合过程中参数间的相互影响规律。

主 题 词：热超声键合 键合温度 键合功率 换能系统 

学科分类：07[理学] 082403[082403] 08[工学] 070206[070206] 0824[工学-林业工程类] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-3133.2010.08.008

馆 藏 号：203502967...