可见与近红外激光通信系统光学滤光膜的研制

作     者：付秀华 寇雷雷 张静 许阳月 张燃 

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 中国白城兵器试验中心吉林白城137001 

基　　金：吉林省重大科技攻关项目(2009ZDGG007)资助课题 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2012年第39卷第12期

页      码：136-139页

摘      要：在空间光通信中,光学系统起着非常重要的作用,光学薄膜技术已成为制作光学元件的关键技术。对532、808、1064、1550nm激光工作的4个波段,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,借助于膜系设计软件,采用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法设计并制备了激光滤光膜。镀膜后的基片在808nm处的透射率大于90%,532、1064、1550nm处的反射率均大于99%。重点解决了808nm透射区半波孔的问题,通过对基片进行清洁、减少薄膜的吸收和进行真空退火等方法提高了膜层的激光损伤阈值。经过性能测试和评估,满足系统的要求。

主 题 词：薄膜 激光滤光膜 离子辅助沉积 激光损伤阈值 空间光通信 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl201239.1207001

馆 藏 号：203504106...