140GHz MEMS矩形波导滤波器

作     者：赵兴海 单光存 郑英彬 杜亦佳 陈颖慧 鲍景富 苏伟 ZHAO Xing-Hai;SHAN Guang-Cun;ZHENG Ying-Bin;DU Yi-Jia;CHEN Ying-Hui;BAO Jing-Fu;SU Wei

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 香港城市大学物理与材料科学系 电子科技大学四川成都613800 

基　　金：中国工程物理研究院科学技术发展基金重点项目(2008A0403016) 国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11176006) 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2013年第32卷第2期

页      码：165-169页

摘      要：设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺,首次制造出了D波段MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4～0.7 dB,中心频率(140±3)GHz,带外抑制为≥18 dB,样品主要技术指标与设计值符合.

主 题 词：波导滤波器 太赫兹 DRIE 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3724/sp.j.1010.2013.00165

馆 藏 号：203504247...