毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响

作     者：徐强 赵永蓬 李小强 李琦 王骐 Xu Qiang;Zhao Yongpeng;Li Xiaoqiang;Li Qi;Wang Qi

作者机构：哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室黑龙江哈尔滨150001 

基　　金：国家自然科学基金(60838005) 国家科技重大专项(2008ZX02501) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2014年第43卷第9期

页      码：2873-2877页

摘      要：极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。

主 题 词：毛细管放电 极紫外光刻光源 Xe等离子体 13.5nm辐射 Z箍缩 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2014.09.016

馆 藏 号：203505041...