MEMS中变截面梁优化数学模型的建立

作     者：易源霖 孙江宏 YI YuanLin;SUN JiangHong

作者机构：北京信息科技大学机电工程学院北京100192 

基　　金：国家自然科学基金(51275052) 北京市自然科学基金重点项目(3131002) 北京市教委科研计划重点项目(KX201311232036) 

出 版 物：《机械强度》 (Journal of Mechanical Strength)

年 卷 期：2014年第36卷第6期

页      码：889-893页

摘      要：MEMS结构中采用变截面梁来降低应力集中的影响。建立变截面梁弯曲和振动的数学模型,对MEMS器件加工工艺提供可靠的理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角、最大挠度和基频不变作为前提条件,分别构建最大转角尺寸刚度、最大挠度尺寸刚度表达式和基频关系式,并结合有限元分析,构建对原设计方案的优化思路,为MEMS中类似结构的设计提供优化方法。

主 题 词：MEMS 变截面梁 最大转角尺寸刚度 最大挠度尺寸刚度 基频 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.16579/j.issn.1001.9669.2014.06.017

馆 藏 号：203505100...