微型热式液体流量传感器的设计

作     者：段萱苡 谢海波 傅新 杨华勇 DUAN Xuan-yi;XIE Hai-bo;FU Xin;YANG Hua-yong

作者机构：浙江大学流体传动及控制国家重点实验室浙江杭州310027 

基　　金：中国高等学校博士学科点专项基金资助项目(20030335026) 国家自然科学基金资助项目(50335010) 

出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)

年 卷 期：2005年第24卷第8期

页      码：83-85页

摘      要：设计了新型的微型热式液体流量传感器。它将测热式工作原理和热膜式工作原理结合起来,在精确测量小流量的同时,兼具较大的动态测量范围。该传感器利用MEMS工艺,在两层聚对二甲苯横膈膜中制作出极细的铂电阻丝,通过测量铂电阻丝随温度的变化来获得流量的信息。阐述了传感器的测量原理和微加工工艺流程,并对工作模式进行了流场温度场仿真,对该传感器的进一步优化提供了参考。

主 题 词：微型 液体 流量传感器 热膜式 测热式 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2005.08.030

馆 藏 号：203509464...