正交实验法优选电沉积Co-Pt-W磁性薄膜制备工艺

作     者：吴琼 卫国英 葛洪良 王新燕 周巧英 WU Qiong;WEI Guo-ying;GE Hong-liang;WANG Xin-yan;ZHOU Qiao-ying

作者机构：中国计量学院理学院浙江杭州310018 

基　　金：国家自然科学基金(20571067) 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2006年第37卷第11期

页      码：1716-1718,1722页

摘      要：利用正交设计L_(25)(5~6)安排实验,分别以矫顽力和磁滞回线的方形度为考察指标,通过极差分析和方差分析优化Co-Pt-W磁性薄膜电沉积制备工艺,结合工业生产的实际需求,得到Na_2WO_4·2H_2O及(NH_4)_2C_6H_6O_7浓度分别为0．08L、0．198mol/L,电流密度为5mA/cm^2,温度为60℃的制备条件为最佳组合。在此条件下制备了Co-Pt-W薄膜样品,并对其磁性能进行验证,对结构和形貌进行了测量。结果表明hcp结构有利于电沉积Co-Pt-W薄膜的硬磁性能。

主 题 词：正交实验设计 电沉积薄膜 硬磁性 

学科分类：080503[080503] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1001-9731.2006.11.008

馆 藏 号：203509914...