宽光谱膜厚监控系统的评价函数修正技术

作     者：尚小燕 韩军 姜旭 

作者机构：西安工业大学光电工程学院陕西西安710032 西安应用光学研究所陕西西安710065 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2012年第49卷第2期

页      码：157-162页

摘      要：基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败。利用实测的膜层透射率光谱曲线,对于已镀层,利用模拟退火算法实时拟合其实际的光学常数,据此修正目标透射率曲线,并补偿吸收的影响,重新设计膜层数及预镀层厚度,获得新的评价函数,如此对评价函数进行逐层修正。实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-2以下,精度完全可以满足实际要求。

主 题 词：薄膜 膜厚监控 评价函数修正 模拟退火算法 逐层吸收补偿 

学科分类：081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3788/lop49.023101

馆 藏 号：203510260...