用于射频通信领域的3-D MEMS电感设计

作     者：李雯 谭智敏 刘理天 

作者机构：清华大学微电子学研究所北京100084 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2003年第24卷第z2期

页      码：249-250页

摘      要：研究了影响3-D MEMS电感的电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型。并利用该理论模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟。根据理论计算的结果,设计了应用于射频通讯领域的高Q值3-DMEMS电感,并研究了电感制造的工艺流程。

主 题 词：射 频 3-D MEMS 电 感 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0254-3087.2003.z2.113

馆 藏 号：203511907...