钽低温离子渗氮工艺参数对渗氮层物相的影响

作     者：张德元 曾卫军 罗文 许兰萍 李放 付青峰 林勤 

作者机构：北京科技大学理化系北京100083 江西省科学院应用物理研究所南昌330029 

出 版 物：《中国有色金属学报》 (The Chinese Journal of Nonferrous Metals)

年 卷 期：2002年第12卷第z1期

页      码：160-162页

摘      要：利用组合的二次回归正交实验设计方案 ,对钽低温离子渗氮条件下 ,表面物相及固溶体中氮的含量随渗氮温度、气氛总压力和氢氮摩尔比的变化进行了系统研究。发现表面渗氮层由化合物Ta6N2 .57、超晶格TaN0 .1和固溶体相组成。氮在钽中的固溶度随气压、温度和氢摩尔分数的增加而增加 ,化合物和超晶格相含量随温度增加而增加 ,同时化合物相随氢摩尔分数增加有一个极大值 ,该极大值随温度增加而下降。

主 题 词：钽 离子渗氮 物相 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-0609.2002.z1.035

馆 藏 号：203515596...