一种Sawyer马达驱动二维运动平台测量和控制系统设计(英文)

作     者：TANO M 高伟 DIAN S Y KIYONO S TOMITA Y MAKINO K MOTITA H TANO M;GAO W;DIAN S Y;KIYONO S;TOMITA Y;MAKINO K;MOTITA H

作者机构：日本东北大学 日本住友重工株式会社 

基　　金：Supported by a grant from the Japan Society for Promotion of Science (JSPS) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2006年第4卷第3期

页      码：182-189页

摘      要：介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成,在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上,用以驱动平台．每一驱动器均由一个永久磁铁和两个驱动线圈组成,用以产生X向和Y向的平台驱动力．设计了一种表面编码器用以测量和控制平台的运动．一个正弦格栅装在台板上,一个传感组件装在平台驱动器上．在该传感组件中有三个光学传感器,用以测量三个分离点上的X和Y方向的位置,平台的θ_z向位置可以从传感器输出求得．开发了一种反馈控制系统用以控制平台运动．测量和反馈控制实验证明了该精密系统的可行性．

主 题 词：测量 控制 定位 Sawyer马达 表面编码器 正弦格栅 传感器 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2006.03.003

馆 藏 号：203516881...