微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现

作     者：王嫘 韩丰田 董景新 刘云峰 WANG Lei;HAN Feng-tian;DONG Jing-xin;LIU Yun-feng

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA04Z312) 国家自然科学基金资助项目(40174049) 航空科学基金资助项目(20100858005) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2011年第9卷第3期

页      码：265-269页

摘      要：为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、玻-硅静电键合、硅片减薄、多层金属溅射等关键工艺的加工路线.在工艺设计中采用铝牺牲层对转子进行约束,在第2次玻-硅键合后再通过湿法去除牺牲层,以得到可自由活动的转子.基于提出的体硅工艺路线,成功加工出了微陀螺敏感结构,并完成了转子5自由度悬浮和加转实验,测试结果表明大气环境下转子转速可达73.3 r/min.

主 题 词：微静电陀螺 体硅工艺 铝牺牲层 静电键合 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2011.03.016

馆 藏 号：203518871...