压阻式微压力传感器结构参数设计

作     者：王峰 谭晓兰 张敏亮 

作者机构：北方工业大学机电工程学院北京100041 

基　　金：北京市自然科学基金资助项目(编号:3122014) 

出 版 物：《自动化仪表》 (Process Automation Instrumentation)

年 卷 期：2013年第34卷第3期

页      码：83-86页

摘      要：在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上,根据传感器的灵敏度与线性度特点,设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器。在满足计算要求的条件下,对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真;并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值。仿真结果表明,该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值。

主 题 词：微压力传感器 灵敏度 线性度 ANSYS仿真 可靠性 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-0380.2013.03.023

馆 藏 号：203519546...