浅谈ZnO薄膜的制备方法及其表征

作     者：万文琼 

作者机构：景德镇陶瓷学院科技艺术学院江西景德镇333000 

出 版 物：《景德镇高专学报》 (Jingdezhen Comprehensive College Journal)

年 卷 期：2013年第28卷第6期

页      码：18-19页

摘      要：本文介绍了ZnO薄膜的几种主要的制备方法,有脉冲激光沉积法、溶胶一凝胶法和磁控溅射法,再对所制薄膜的表征方法进行介绍,有X射线衍射分析、SEM分析、薄膜光学性质分析、四探针法、原子力显微镜。

主 题 词：ZnO薄膜 制备方法 表征方法 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0703[理学-化学类] 070301[070301] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1008-8458.2013.06.008

馆 藏 号：203519880...