基于波前传感法的立方相位板面形测量

作     者：吴青青 张效栋 房丰洲 张林 

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津微纳制造工程技术中心天津300072 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2014年第40卷第2期

页      码：105-112页

摘      要：针对立方相位板的曲面特征，基于波前传感方法设计了面形测量系统。提出了波前数据到曲面面形的映射模型，借助图像处理方法有效地提高了测量的动态范围，实现了较大曲率的立方相位板面形精度的超精密测量。仿真分析表明，该模型的转换精度同传统算法相比提高了2～3倍，测量的动态范围提高了4倍，且仍有提高空间。最后搭建的实验系统实现了实际立方相位板面形的测量，通过与Wyko白光干涉仪的测量数据对比，验证了测量的准确性。

主 题 词：立方相位板 波前传感器 面形测量 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.02.002

馆 藏 号：203519965...