聚焦离子束(FIB)技术及其在微电子领域中的应用

作     者：刘立建 谢进 王家楫 

作者机构：复旦大学国家微分析中心上海200433 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2001年第26卷第2期

页      码：19-24,44页

摘      要：ＦＩＢ是一种将微分析和微加工相结合的新技术，在亚微米级器件的设计、工艺控制和失效分析等诸多领域发挥着非常重要的作用。本文将对聚焦离子束技术及其分析、加工的机理和性能作一介绍，并对该技术在微电子领域中的应用及发展作一综述。

主 题 词：集成电路 微细加工 聚焦离子束 微电子 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2001.02.006

馆 藏 号：203524722...