抗高过载加速度计微结构的设计与分析

作     者：王伟 陈丽洁 贲庆玲 邵宪辉 陈昕 

作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001 

出 版 物：《计量与测试技术》 (Metrology & Measurement Technique)

年 卷 期：2009年第36卷第9期

页      码：5-7页

摘      要：介绍一种抗高过载加速度计的结构,对其惯性结构、过载保护结构及气体阻尼结构进行了详细分析,其中惯性结构采用有较好过振保护的双端固支梁,其截面设计成一种具有应力集中特点的凹形截面。用有限元分析对微结构进行模拟计算,并通过试验验证。验证结果表明,该加速度计在经过20000gn冲击后,在±50gn的量程内非线性达到1%,灵敏度达到1mV/g。

主 题 词：加速度计 弹性结构 过载 阻尼 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-6941.2009.09.003

馆 藏 号：203525678...