石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析

作     者：林日乐 赵建华 林珂 满欣 李文蕴 周倩 翁邦英 LIN Rile;ZHAO Jianhua;LIN Ke;MAN Xin;LI Wenyun;ZHOU Qian;WENG Bangying

作者机构：中国电子科技集团公司第26研究所重庆400060 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2013年第35卷第4期

页      码：511-513页

摘      要：石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了其失效模式。试验结果验证了分析的准确性,分析结果可作为改进敏感器件可靠性的依据。

主 题 词：石英 微机械 陀螺 敏感器件 可靠性 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081105[081105] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2013.04.012

馆 藏 号：203527189...