集成化MEMS工艺设计技术的研究

作     者：张海霞 郭辉 张大成 徐嘉佳 郝一龙 

作者机构：北京大学微电子研究院北京100871 

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (60 30 60 0 8) 国家 863计划资助项目 (2 0 0 3AA40 4 0 1 3) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2004年第2卷第3期

页      码：229-233页

摘      要：针对目前MEMS研究领域中普遍存在的器件设计与加工工艺脱节的问题 ,提出了一种集成化的MEMS工艺设计技术 ,即在器件设计的过程中充分考虑加工工艺的特点和制约 ,提高器件的工艺设计能力和效率 .这种工艺设计方法以结构材料、反应材料、工艺设备和环境限制的数据库为基础 ,从工艺过程为结构材料和反应物之间的物理或化学反应的角度出发 ,提炼出了工艺设计规则 ;在设计过程中 ,结合版图尺寸和具体的工艺参数 ,对工艺过程中器件结构二维断面上的所有结构材料的状态和图形进行计算和记录 ,并以此信息为依据结合设计规则判断工艺流程的合理性 ,并把相应的工艺信息、材料信息等代入器件的结构分析中去 ,实现MEMS器件的集成化工艺和结构设计 .最后三维可视化设计工具IMEE1.0实现了集成化的设计技术 ,并通过对一个结构比较复杂的气体传感器进行设计和制作 ,验证了这种集成化工艺设计技术的可行性和实用性 .

主 题 词：MEMS器件 器件设计 器件结构 版图 集成化 结构比较 设计规则 气体传感器 数据库 图形 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2004.03.013

馆 藏 号：203531510...