PCVD工业生产设备及模具强化成套技术

出 版 物：《科技开发动态》 (R&D Information)

年 卷 期：2005年第1期

页      码：57-57页

摘      要：编号：0501312等离子体增强化学气相沉积(PCVD)技术是在一定温度和气压的真空炉内通人工作气体，产生辉光放电，激活沉积反应，从而在基材表面形成耐磨损、抗氧化的陶瓷涂层。该项目为PCVD工业生产设备及模具强化成套技术，在设备总体结构的优化设计、逆变式脉冲直流等离子体技术、脉冲直流PCVD法制备高性能TIN陶瓷涂层和表面强化技术等方面均具有创新性。

主 题 词：PCVD 模具 陶瓷涂层 逆变式 表面强化技术 真空炉 耐磨损 成套技术 基材 高性能 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

馆 藏 号：203531613...