T46X型硒镓银单晶炉的研制

作     者：高利强 王建春 楚波 GAO Li-qiang;WANG Jian-chun;CHU Bo

作者机构：西安理工大学熏陕西西安710048 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2005年第34卷第3期

页      码：28-30,45页

摘      要：介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。

主 题 词：单晶炉 结构 BS法 炉室上升 

学科分类：080603[080603] 08[工学] 0806[工学-电气类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2005.03.007

馆 藏 号：203531714...