1级(0.1μm)超级洁净室的设计分析

作     者：吴杲 龚毅 

作者机构：郑州纺织工学院河南郑州450007 

出 版 物：《郑州纺织工学院学报》 (Journal of Zhengzhou Textile Institute)

年 卷 期：1999年第10卷第3期

页      码：83-85页

摘      要：通过对１ 级（０ ．１ μｍ ） 超级洁净 室的分 析比 较，认 为超 级洁 净室 设计 的关 键是 三个 方 面，即新风处 理系统 、末端超高 效过滤 器、正压控 制，并对 该设计 存在的问 题提出了 建议。

主 题 词：1级 超级洁净室 超大规模 集成电路 洁净室 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203533887...