新型双电层薄膜晶体管研究取得新进展

出 版 物：《中国科学院院刊》 (Bulletin of Chinese Academy of Sciences)

年 卷 期：2011年第26卷第6期

页      码：717-717页

摘      要：中科院宁波材料技术与工程所所属新能源技术所万青研究组设计了一种具有双侧栅结构的低压双电层薄膜新型晶体管。模拟计算表明，一个侧栅可以有效地调控器件的阈值电压和工作模式。他们还发明了一种基于单个金属掩膜的自组装绕射技术，一次薄膜沉积过程即可巧妙地完成器件的源／漏、两个侧栅和沟道薄膜沉积。

主 题 词：薄膜晶体管 双电层 新能源技术 材料技术 阈值电压 沉积过程 薄膜沉积 栅结构 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203534172...