基于MEMS技术的高密度视网膜假体微电极阵列的研制

作     者：冯刚 隋晓红 王昱 李刚 柴新禹 Feng Gang;Sui Xiaohong;Wang Yu;Li Gang;Chai Xinyu

作者机构：上海交通大学生物医学工程学院上海市200240 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海市200050 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973项目:2011CB707503/05) 国家自然科学基金(61273368) 国家高技术研究发展计划(863项目:2009AA04Z326) 

出 版 物：《中国医疗器械杂志》 (Chinese Journal of Medical Instrumentation)

年 卷 期：2013年第37卷第6期

页      码：407-410页

摘      要：提出了一种基于MEMS技术设计和制作应用于视网膜假体的柔性神经微电极阵列的工艺流程,引入离子束刻蚀的工艺大幅度减小了导线和线间的宽度,在单层聚合物上制作了高密度的微电极阵列(120通道,10×12阵列)。对实际制得的微电极阵列测试表明,其在1 kHz频率的电脉冲刺激下阻抗均值为16 kΩ±2 kΩ,相位差均值为-85o±3o,达到了预期设计目标。

主 题 词：视觉假体 视网膜假体 微电极阵列 MEMS 高密度 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 08[工学] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-7104.2013.06.007

馆 藏 号：203535198...