半导体技术

出 版 物：《中国无线电电子学文摘》 

年 卷 期：1997年第13卷第5期

页      码：41-50页

主 题 词：半导体技术 半导体产业 动力学模型 可制造性设计 功能成品率 发展趋势 深能级 华中理工大学 半导体硅 固体电子学 

学科分类：0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203536461...