新型扩散硅低压传感器

作     者：吴宪平 胡美凤 

作者机构：复旦大学 

出 版 物：《自动化仪表》 (Process Automation Instrumentation)

年 卷 期：1992年第13卷第11期

页      码：15-19页

摘      要：介绍一种采用矩形双岛硅膜结构,量程为6kPa的扩散硅低压传感器。该传感器具有非线性内补偿和20倍量程以上的过压保护功能。着重介绍了该产品的设计、芯片制造与封装工艺、温度系数补偿办法和传感器技术性能的测试结果。

主 题 词：硅 低压力 过压保护 传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203536904...