静电驱动蝴蝶结状双端固支梁的节点分析法

作     者：李敏 黄庆安 李伟华 Li Min;Huang Qingan;Li Weihua

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2006AA04Z302)~~ 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2008年第29卷第12期

页      码：2432-2436页

摘      要：为了在节点化设计方法中对静电驱动的蝴蝶结状双端固支梁进行分析,采用伽辽金残余法建立了静电驱动梯形梁单元的节点化模型,在HSpice中构建了相应的等效电路模型.与有限元仿真结果及文献中给出的实验结果进行了比较,结果表明模型具有较高的精度,可在相关设计中作为参考.

主 题 词：MEMS器件 半导体器件 蝴蝶结状双端固支梁 节点法 伽辽金残余法 等效电路 MEMS 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-4177.2008.12.029

馆 藏 号：203540154...