直线电机气浮精密定位平台设计与控制

作     者：张从鹏 刘强 Zhang Congpeng;Liu Qiang

作者机构：北京航空航天大学机械工程及自动化学院北京100083 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50390063) 

出 版 物：《北京航空航天大学学报》 (Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics)

年 卷 期：2008年第34卷第2期

页      码：224-228页

摘      要：为了掌握光刻机工件台的设计和控制技术,建立了双边直线电机驱动的H型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法、双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了研究.利用有限元计算方法分析设计了气浮导轨,采用预加载技术提高气浮导轨的承载能力和刚度.实验结果表明:气浮导轨具有较高的承载能力和刚度,X和Y导轨的竖直方向静刚度为276.9N/μm和333.3N/μm.H型工作台的双边直线电机需要高精度的同步运动控制,传统的串、并联同步控制不能满足精度要求,设计了基于同步速度偏差的改进型并联结构同步控制器,采用模糊控制实现PID参数的自适应整定.实验表明:采用改进的控制器将速度同步精度提高了3倍多,适合于具有强机械耦合的多电机同步运动控制.H直线电机气浮定位平台具有承载能力强(40 kg)、精度高(<2μm)的优点,可用于精密工程领域.

主 题 词：直线电机 H型运动平台 同步控制 气浮导轨 预加载 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.13700/j.bh.1001-5965.2008.02.017

馆 藏 号：203540170...