掩膜微加工激光扫描单片机控制系统

作     者：徐国成 郑毅 李世权 徐德生 

作者机构：吉林大学材料科学与工程学院长春130025 

出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)

年 卷 期：2009年第30卷第5期

页      码：71-72页

摘      要：文章介绍了以单片和两台步进电机组成的脉冲固体激光掩膜微加工扫描控制系统;包括系统的硬件设计和软件设计。根据掩膜加工的控制要求和80C196KC的特点,并结合程序流程图,对系统软件设计给出了详细说明。

主 题 词：激光掩膜微加工 扫描控制 单片机 步进电机 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0253-2743.2009.05.030

馆 藏 号：203541040...