微米级形貌修饰的硅材料表面摩擦特性的实验研究

作     者：董云开 张向军 刘莹 温诗铸 Dong Yunkai;Zhang Xiangjun;Liu Ying;Wen Shizhu

作者机构：清华大学摩擦学国家重点实验室北京100084 南昌大学江西南昌330029 

基　　金：国家自然科学基金项目(50545035 50275071 50575123) 

出 版 物：《润滑与密封》 (Lubrication Engineering)

年 卷 期：2008年第33卷第1期

页      码：1-4页

摘      要：微机电系统(MEMS)可动部件间的摩擦特性是影响其性能和可靠性的重要因素之一。为了研究微机械构件间的摩擦行为,设计了一种面-面接触的应变式微摩擦测试仪,以模拟MEMS器件的真实工况。研究了不同微米级条纹形貌硅试样的摩擦特性,结果表明,微尺度下速度对摩擦因数有很大影响;形貌参数存在优选值以有效减少速度的影响和摩擦因数等。

主 题 词：摩擦力 表面形貌 滑动速度 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.0254-0150.2008.01.001

馆 藏 号：203546353...